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图11一些元素的俄歇谱线位移和光电子谱线位移对比[36]但是X射线光电子谱仪价格较贵，类源量常规XPS只能对十几平方毫米的大面积进行分析，类源量提供的仅是大面积内平均信息，且所用的激发源为非单色化X光，得到的XPS谱能量分辨不够[40]。
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